�������ѡʥץ��������ѳ�ȯ��
����ȾƳ�Υץ��������ѳ�ȯ �칶 �ŵ����Żҡ�ʪ���ʤ� �Ȥ�뾦�� SAW�ե��륿��BAW�ե��륿�ʤ�ȾƳ�Υץ��������Ѥ������� ��̳���� ������

SAW/BAW�ǥХ����������ʤι����ʳ�����Ω���夲�ޤǤΥץ�������ȯ��ԤäƤ��������ޤ���

���ܺ١�SAW/BAW�ǥХ����ο���¤��ȯ�ڤӡ��������ٲù���ȯ���ѥå������󥰳�ȯ��Ԥ��ޤ���

��Ϣ���ϰ�ļ��츩����Ƚꡢ�������¼������ꡢ�ܾ븩����¼������ꡣ

�����ѥġ�����������ٲù����ѥå������ù��������Ѥ��ޤ���

��Ư������ħ(��ĥ���٤��̳���֤ʤ�)�ĺ߶Ф��ᥤ��Ǥ������������������ץ饤��ؤν�ĥ�⤢��ޤ���ȾƳ�Ρ�MEMS�ǥХ������ѼԤⴿ�ޤ��ޤ���



����̳�����ѹ����ϰϡ����Ҷ�̳���̡ʤ��������и����ϡ��и��褬�����̳�� ���λŻ������򤵡�̥�� �����쵻�ѤΤߡ��꥽����ե����ѤΤߤȡ�����Υץ����������Ǥʤ����������ץ��������ѳ�ȯ�ηи����Ѥ७��ꥢ�䡢����Υץ��������ͤ��ͤ�Ƥ�������ꥢ�������Ȥ��ܻؤ���������ꥢ�˱�äƵ��ѼԤȤ��ƤΥ����륢�åפ��ܻؤ���Ķ��Ǥ���

�������������Ω������ȯ������ѤΥ饤����ߤ��Ƥ��ꡢ�����˱�ä���ΤŤ��꤬�Ǥ���ġ���ͳ�٤ι⤤��ȯ���ʤǤ���Ķ������äƤ��ޤ���

�������ǻҹ�¤��������õ�����¸��Τ����ɬ�פ��������ٲù��ץ��������ѥå������󥰥ץ�������ȯ��Ԥ����ץ���������ƥ��졼�Ȥ򤷤Ƥ����ޤ�����ꥨ�󥸥...